ACS动态参数测试™由PDF Exensio®提供技术支持

优化DC参数测试数据分析和执行

Advantest Cloud Solutions(ACS)的动态参数测试™(DPT),又称WAT或e-Test,由PDF Exensio®提供技术支持,该测试专注于DC参数测试,晶圆制造期间通常在线执行,晶圆从晶圆厂运至晶圆测试中心时终末执行。DPT在V93000参数测试系统上运行,根据历史可用和实时可用的过程控制监控(PCM)数据,可以更好地控制测试流程。

ACS DPT™由爱德万测试和行业领先的半导体数据分析解决方案提供商PDF Solutions联合开发。ACS DPT™与PDF Solutions Exensio®数据分析平台相集成,旨在根据测量结果和其他用户定义输入立即修改参数测试计划。结果是一个可以动态调整程序流程的系统,以在出现异常测量或意外趋势时收集被测晶圆的其他设备特性。好处在于,当晶圆仍处于探针卡盘上时,几乎可以立即对未预料到的晶圆特性做出反应,从而消除批次召回、晶圆对准和程序代码修改问题。

通过ACS DPT™解决方案提供的界面可以定义待监控晶圆的特性,以了解与指定值、统计数据或趋势的偏差。一经找到,DPT会按照设计采取程序化操作,以便更详细地了解器件和晶圆特性。例如,假设点测会产生异常值。在这种情况下,产品或测试工程师可能希望在更宽的激励和响应范围内进一步表征器件,甚至探索周围的管芯位置以进行拓扑映射。这样,工程师可以确定,初始的错误测量是晶片上代表工艺设备问题的一次性点缺陷,还是异常梯度问题。

通过V93000参数测试系统以及运行在测试台服务器上的PDF Exensio动态测试控制器(DTC)软件之间的集成数据流,所有这些操作均可自动执行。首先,在V93000工作站上运行的Exensio代理会监控测试,并将测试结果发送到Exensio DTC,后者会托管测试工程师预先编程的“规则引擎”。然后,Exensio DTC将适当的规则响应操作传送回V93000和探针器驱动器,以便触发操作时动态调整测试流程,使其全部自动执行。

有关PDF Exensio®平台的更多信息,请访问www.pdf.com

ACS DPT™功能概括:

  • 监测设备分析触发器的测试结果
  • 自动执行问题探索
  • 编程控制规则和操作
  • 跨多个测试系统执行数据
  • 设置工厂输入数据的测试流程

客户利益:

  • 即时响应,节省测试和工程时间
  • 一致采用已知最佳方法
  • 通过规则标准调整测试吞吐量
  • 随时间生成统计历史
  • 向晶圆测试发送下游指令