CD-SEM
（关键尺寸扫描电子显微镜）

我们的 CD-SEM 工具可测量半导体光掩膜和晶片上布线图案的宽度、高度、侧壁角度等。

我们的缺陷审查扫描电子显微镜工具可对光罩上的微小缺陷进行详细审查。