WAFER MVM-SEM® E3310

WAFER MVM-SEM® E3300系列

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支持下一代晶圆量测的扫描电镜

E3310是一款用于新一代晶圆的WAFER MVM-SEM®*,支持1Xnm节点的工艺开发和22nm节点及更先进的批量生产。E3310的高速承载系统采用双臂真空机器人,低振动平台提高了测量精度,实现高产能、高性能的晶圆测量。其多检测器配置和独特的三维测量算法也能对三维晶体管技术(如FinFET)进行稳定的高精度测量。E3310为缩短工艺开发周转时间做出了重大贡献,提高了新一代设备的生产力。

*: MVM-SEM=多视觉测量扫描电子显微镜

  • 用于高分辨率测量的先进电子-光学柱设计
  • 支持不断发展的晶圆工艺,如三维测量
  • 三维形貌成像
  • 高稳定性、全自动图像采集
  • 支持不断发展的晶圆工艺
  • 丰富的应用范围

* 请点击此处联系我们,以获取更多有关SEM量测和检查的详细信息。

点击此处查看产品目录。(英文)

点击此处访问服务与支持页面。

* MVM-SEM是爱德万公司在日本、美国和其他国家的注册商标或商标。

丰富的应用范围 硅晶圆、AlTiC晶圆、石英晶圆、碳化硅晶圆
晶圆尺寸 支持:150mm - 300mm
(取决于晶圆类型)
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* MVM-SEM是爱德万公司在日本、美国和其他国家的注册商标或商标。