WAFER MVM-SEM® E3310
WAFER MVM-SEM® E3300系列
支持下一代晶圆量测的扫描电镜
E3310是一款用于新一代晶圆的WAFER MVM-SEM®*，支持1Xnm节点的工艺开发和22nm节点及更先进的批量生产。E3310的高速承载系统采用双臂真空机器人，低振动平台提高了测量精度，实现高产能、高性能的晶圆测量。其多检测器配置和独特的三维测量算法也能对三维晶体管技术（如FinFET）进行稳定的高精度测量。E3310为缩短工艺开发周转时间做出了重大贡献，提高了新一代设备的生产力。
*: MVM-SEM=多视觉测量扫描电子显微镜
- 用于高分辨率测量的先进电子-光学柱设计
- 支持不断发展的晶圆工艺，如三维测量
- 三维形貌成像
- 高稳定性、全自动图像采集
- 支持不断发展的晶圆工艺
- 丰富的应用范围
* 请点击此处联系我们，以获取更多有关SEM量测和检查的详细信息。
* MVM-SEM是爱德万公司在日本、美国和其他国家的注册商标或商标。
| 丰富的应用范围 | 硅晶圆、AlTiC晶圆、石英晶圆、碳化硅晶圆 |
|---|---|
| 晶圆尺寸 | 支持：150mm - 300mm （取决于晶圆类型） |
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* MVM-SEM是爱德万公司在日本、美国和其他国家的注册商标或商标。