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专为多晶圆探针台优化的新型测试系统,适用于非易失性存储器集成电路
T5230是一款支持NAND闪存等非易失性存储器晶圆测试和晶圆老化测试的存储器测试系统,采用多晶圆探针台设计以减少测试场地占用空间。

显著降低NAND及其他非易失性存储器件的测试成本并提升吞吐量,此类器件的存储容量正持续攀升
T5230存储器测试系统针对NAND/NVM器件采用组合阵列架构,在晶圆测试(包括晶圆级老化测试WLBI和内置自测试BIST)领域实现了业界领先的测试成本效益。该系统可在每个测试头上并行执行1024个存储器件的晶圆测试,从而实现高生产率并节省高达86%的占地面积。在T5230中,多个测试单元通过系统控制器连接,每个测试单元可独立进行晶圆测试。测试单元可存储于通用多晶圆探针台中,同时大幅减少测试单元占地面积,且测试机可与线性及多层堆叠配置的探针台对接。在测试速度高达125MHz/250Mbps的功能测试中,T5230可确保高时序精度、可重复性和故障检测能力。
先进的硬件和高速数据传输能力
随着3D NAND器件容量的增加,测试结果输出的数据量也随之增长,处理起来变得更加困难。为了应对数据处理时间增加带来的影响,T5230提供了更高的数据传输速度。因此,可以进一步缩短测试时间,吞吐量较以往产品有所提升。
保留与先前存储器测试系统的兼容性
T5230搭载了Future Suite操作系统,该平台专为存储器测试系统设计,凭借其久经验证的可靠性已成为全球行业标准。其与旧系统的高度兼容让用户能够从上一代设备无缝过渡。
目标器件 | NAND闪存、其他非易失性存储器、晶圆级老化测试 |
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并行测试 | 1536 |
测试速度 | 125MHz/250Mbps |
软件 | FutureSuite操作系统 |