同時測定個数の増加を可能にする業界初のフレキシブルなDUTインタフェース「DUT Scale Duo」を発表

株式会社アドバンテスト（本社：東京都千代田区　社長：吉田 芳明）は、SoCテスト・システム「V93000 EXA Scale™」向けDUTインタフェース「DUT Scale Duo」を発表しました。画期的なインタフェース機構により、DUTボードやプローブカードと接続するテストエリアの面積を従来製品比50%拡大し、対応可能な被測定デバイスの高さ寸法も従来製品比3倍を実現しました。

今日のテストにおいて、一度に測定可能なデバイスの個数はテスト・システムの性能によってではなく、プローブカードやDUTボードにどれだけデバイスを置くスペースがあるかによって決まります。急成長する車載やモバイル、RF向けのデバイスは、一度でより多くのデバイスをテストすることが求められており、DUTボード上のスペースをこれまで以上に有効活用することが不可欠です。また、最先端のシングル・タッチダウンのウェーハ・テストから、32サイト以上の多数個同時測定のファイナル・テストに至るあらゆるテストでコスト効率の高いソリューションを実現するため、デバイス・インタフェース上にはより広いスペースが必要とされています。

DUT Scale Duoは、従来の標準的なDUTボードやプローブカードのサイズに合わせることも、サイズを大幅に拡張することも可能な業界初のDUTインタフェースです。独自のスライド機構を採用し、アプリケーションの要求に合わせて簡単に大きさを切り替えることが可能です。

DUT Scale Duoは新しい超高剛性拡張ブリッジを採用し、優れた耐ひずみ特性でコンタクト時の平坦度を保ちます。汎用性のあるデザインで、デジタル・デバイスやRFデバイスなど、幅広いアプリケーションに対応します。また、洗練されたセンシング機能により、拡張ブリッジは業界最高クラスのウェーハ平坦度と高い製造歩留まりを実現し、優れた位置決め精度とプローブカード実装時の品質を保証します。

DUT Scale Duoは、現在パイロットユーザーによって量産に向けた性能確認が行われており、2022年中に幅広いお客様に展開する予定です。