EUVマスクの欠陥レビューに対応 　DR-SEM「E5620」を発売

2022/12/01 製品情報

株式会社アドバンテスト（本社：東京都千代田区　社長：吉田 芳明）は、DR-SEM*の新製品「E5620」の販売を開始しました。高精度・高スループット欠陥レビュー性能により、次世代フォトマスクの生産品質向上とマスク製造のTAT(Turn Around Time)短縮に大きく貢献します。

E5620は安定性の高いイメージキャプチャ技術を実装し、マスク検査システムからインポートした欠陥座標の位置データを自動的に画像化します。次世代のEUV露光向けマスクのレビュー用に、従来製品から多くの改善が施されています。

E5620の特長

  • 高い空間分解能
  • 高安定・全自動画像取得
  • マスク検査装置との連携
  • 元素分析機能（オプション）
  • 後方散乱電子分析機能（オプション）

E5620は、12月14日から16日に東京ビッグサイトで開催される「セミコン・ジャパン2022」に出展いたします。（ブース番号1549）

* Defect review-Scanning Electron Microscope：フォトマスクやマスクブランクスの微小な欠陥をレビュー、分析する走査型電子顕微鏡

  • E5620

アドバンテストについて

アドバンテストは、計測技術をコアテクノロジーとするテスト・ソリューションカンパニーです。1954年の創業以来、エレクトロニクスの発展とともに成長し、人びとの暮らしの「安心・安全・心地よい」をサポートしてきました。主力製品となる半導体試験装置は世界最大手であり、当社の海外売上高比率は9割を超えています。アドバンテストは、「先端技術を先端で支える」という企業理念のもと、進展著しいデジタル社会のインフラストラクチャーである半導体の品質や信頼性の向上を通じて、社会の持続可能な発展に寄与しています。詳しくは当社ウェブサイト(www.advantest.com)をご参照ください。

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