Photonics

• 量産（自動化・高稼働率）にふさわしい拡張性の高い統合テストセルへのアクセス
• 光測定に拡張したテストカバレッジと光調心を含めた高スループット
• プローブカード交換やウェーハ搬送も自動化された光電融合ウェーハ測定
• 製造コストの削減
• DUT直近となるFAUレベルの校正による厳密な測定（製品品質向上）

主な課題とソリューション

• 光プロービング
  シリコンフォトニクスデバイスでは、ウェーハおよびダイレベルのテスト時に、高精度で安定した再現性のある光アクセスが求められるため、光プロービングは大きな課題となります。
  当社はパートナー企業と連携し、実験環境で求められる光結合精度を保ったまま、量産に最適化された統合型光プロービングソリューションを提供しています。 
• 光パッケージのファイバー接続
  最終テストでは、パッケージ化されたシリコンフォトニクスを採用したNPOおよびCPOデバイスに対して自動的な光接続を必要としますが 、業界では標準化されたコネクタが存在していません。これに対し当社は、ハンドラ、ソケット、ロードボードに関する知見を活かし、様々なコネクタサプライヤと協力して 、量産対応の自動化ソリューションを提供できる強みを有しています。
  また、CPOデバイスに使われるコネクタは消耗品であることも多く、製造に必要な耐久性や保守性を有していないことがほとんどです。当社はコネクタサプライヤと協力してお互いが持つ機械設計や光学特性の改善に努め、低コストで生産性の高いソリューションを実現しています。 
• 光計測機器
  お客さまの多様なニーズに応えるため、当社は外部の光計測機器群をV93000 EXA Scaleプラットフォームに統合しました。これにより、V93000 EXA Scaleが提供するすべての計測機器ポートフォリオと外部の光計測機器群を、当社が提供するSmarTest8ソフトウェアからシームレスに制御することが可能となりました。 設置面積を従来比で41%削減した19インチの「Optical Test Rack」プラットフォームは、幅広い光計測器をコンパクトなユニットとして収めると同時に、光ファイバーの露出を最小限に抑える配線管理やレーザー安全基準への対応を通じて、使いやすさと安全性の両立を実現しています。 このような特長により、お客様はV93000と光計測器のプログラムを個別に開発する必要がなくなり、シリコンフォトニクス試験向けの標準プラットフォームとしてV93000 EXA Scaleをお使いいただけるようになりました。