「V93000」プラットフォームがプロセス・モニタ/開発工程に拡張

新たなパーピン・ソース・メジャメント・ユニット「SMU8」がパラレルとシリアル測定の両方に対応

株式会社アドバンテスト（本社：東京都千代田区 社長：吉田 芳明）は、28nmから3nmまで、さらにそれ以降の半導体プロセスの特性評価とプロセス・モニタに要求される測定が可能な、DCパラメトリック・テスタ「V93000 SMU8」を発表しました。新たに開発した次世代DCパラメトリック試験用のパーピン・ソース・メジャメント・ユニットにより、顧客は短時間で任意のデバイス・ピンの電気的特性およびタイミング特性を測定、評価することができ、新規設計デバイスの製造コスト低減と市場投入までの時間短縮を実現します。

汎用性の高い「V93000 SMU8」は、製品開発環境と量産環境の両方でイン・ラインおよびエンド・オブ・ライン試験を実行することができ、プロセス品質の向上に寄与します。デバイス設計段階では、膨大な量のデータを処理できるため、新しい設計を迅速かつコスト効率よく並行してテストすることができます。量産モニタ工程では、シリアルテスト機能により、30分以内にウエハ全体を評価することができます。
また、「V93000 SMU8」と「AVI64」ユニバーサル・アナログ・モジュールを組み合わせることにより、試験電圧範囲を-40V ～ +80V に拡張することができ、メモリを含むより広範囲のデバイス・プロセスに対応します。モジュールのパーピン任意波形発生器（AWG）は、複数のパルスジェネレータを同時に実行しながら、あらゆる波形を生成することができ、特にフローティングゲート・プロセスに有用です。

「V93000 SMU8」はすでに数社の開発拠点に先行納入済みで、2019年1～3月期には本格出荷が開始されます。

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