「Advantest Cloud Solutions™」を大手半導体メーカーが採用

2021/09/15 トピックス

PDF Solutions社との共同開発、ウエハ・パラメトリック試験を自動化し生産性を向上

株式会社アドバンテスト(本社:東京都千代田区 代表取締役社長:吉田 芳明)とPDF Solutions Inc.(以下PDF社)の共同開発による、クラウドベースの新ソリューション「Advantest Cloud Solutions™」の「Dynamic Parametric Test」(ACS DPT)が、このたび、米系大手半導体メーカーの量産工程に導入されました。

PDF社の「Exensio®」データ解析ソフトウエアをベースとするACS DPTは、当社のテスト・システム「V93000」によるウエハ・パラメトリック試験を最適化するよう設計され、リアルタイム処理や人的介在の最小化を実現します。テストフローをその場で調整することで、テストカバレッジの向上、測定異常時の効率的なデータ収集および評価、さらには根本原因の特定や下流工程の解析のための効率的な追加データ収集を可能にします。

従来の一般的なテストフローでは、事前に決められたテスト内容でウエハを評価し、データ解析が完了するまでウエハはその工程で留まります。データから何らかの異常が検出された場合、テスト内容を変えて評価を行うほか、疑わしいウエハを抽出し再テストしています。しかし、解析用のテスタが他の用途に使われている場合は待たなければならず、数日間工程内に滞留することもあり、テストコストの増大や市場投入の遅延につながります。

ACS DPTは、ユーザーがウエハを最初にテストしている間に、その状態を完全に測定し工程を合理化します。収集されたデータをほぼ瞬時に解析し、テストプロセスをリアルタイムに調整することができます。ACSが可能にしたこのアプローチにより、再テスト工数を削減しエンジニアの貴重なリソースを節約できます。ユーザーは半導体プロセスにおける問題を解決し、製品品質と製造歩留まり、テスト効率を改善することができます。

PDF社共同創業者で Products and SolutionsのEVPを務めるKimon Michaels氏は、「アドバンテストとの提携の目的の一つは、テスト工程とより緊密に統合することで、高度な解析へのアクセシビリティを改善し、より有益なシステムとソリューションを実現することです。ACS DPTの優れた解析能力により、ユーザーはテスト工程において速やかにデータを取得して根本原因を分析し、工期と費用を圧縮することが可能になります。」と述べています。

アドバンテストについて

アドバンテストは、計測技術をコアテクノロジーとするテスト・ソリューションカンパニーです。1954年の創業以来、エレクトロニクスの発展とともに成長し、人びとの暮らしの「安心・安全・心地よい」をサポートしてきました。主力製品となる半導体試験装置は世界最大手であり、当社の海外売上高比率は9割を超えています。アドバンテストは、「先端技術を先端で支える」という企業理念のもと、進展著しいデジタル社会のインフラストラクチャーである半導体の品質や信頼性の向上を通じて、社会の持続可能な発展に寄与しています。詳しくは当社ウェブサイト(www.advantest.com)をご参照ください。

PDF Solution Inc.について

PDF Solution Inc. (NASDAQ:PDFS)は、包括的なデータソリューションによって、半導体エコシステム全体にわたる製品の歩留まりおよび品質の改善と、運用効率そして収益性の向上を支援します。半導体大手各社が導入している同社の製品とサービスは、機器の接続と制御、製造およびテスト工程で生成されたデータの収集、高度な分析と機械学習によって半導体量産のスマート化を可能にします。1991年に設立、カリフォルニア州サンタクララに本社を置き、北米、欧州、アジアで事業を展開しています。同社の最新情報については、https://www.pdf.com/をご覧ください。

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