プローブニードルのクリーニング周期を最適化し生産効率を向上 業界初の新ソリューション「ACS APC」を発表

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  • 製品情報
  • 「ACS APC」は、半導体ウェーハのテストに用いるプローブカードのニードルのクリーニング周期を最適化する、業界初のソリューション。
  • 人工知能アルゴリズムでニードルの汚れを評価し、これまで人が判断していたクリーニング周期を自動的に最適化。
  • STマイクロエレクトロニクス社をはじめ、アジアや欧州の顧客で採用が進む。

株式会社アドバンテスト(本社:東京都千代田区 社長:吉田 芳明)は、プローブカードのニードル(探針)のクリーニング周期を最適化する業界初のソリューション「ACS APC(Advantest Cloud Solution Adaptive Probe Cleaning)」を発表しました。ACS APCはすでにアジアや欧州の顧客に採用され、中でもSTマイクロエレクトロニクス社では2カ所の工場に導入し、製造歩留まりの向上、プローブカードの延命やテスト・システムの稼働時間の伸長といった効果が現れています。

半導体のテスト時間とコスト削減に関する多くの課題の中で、プローブカードはピン数と機能の増加を背景に、ニードルのメンテナンス頻度と寿命というトレードオフに直面しています。半導体メーカーでは通常、テストエンジニアが知見や経験にもとづき、ニードルのクリーニング周期と製品歩留まりのバランスをとって調整します。しかしこの方法では、新規デバイスの立ち上げ時に最適なクリーニング周期に至るまでに一定の時間を要し、その分損失が生じてしまいます。

ACS APCでは、人工知能 (AI) アルゴリズムを使ってニードルの汚れを評価し、歩留まりに影響が出ている場合にのみクリーニングを行い、その頻度を大幅に削減します。新規デバイスの最初のウェーハでのテスト結果を元に、同じロットの残りのウェーハのテストからわずかな時間でクリーニング周期を最適化します。

STマイクロエレクトロニクス社
EWS Europe Operations & Technology Director, Jean-Luc Mariani氏 および
Test Technology R&D Director, Chris Portelli-Hale氏 コメント:

私たちはさまざまな品種のデバイスにACS APCを採用し大きな効果を得ています。ニードルの交換頻度を大幅に削減し、プローブカードのメンテナンスコストは半減、スペアも含めたライフサイクル・マネジメントの効率化に役立っています。

アドバンテスト 執行役員 Titan Chang (タイタン チャン) コメント:

当社のACS APCは、「半導体バリューチェーンで顧客価値を追求」という当社の中長期経営方針に沿ったもので、AIを用いたデータ・アナリティクス・サービスを商品化するものです。半導体メーカーや製造受託企業はACS APCをウェーハ試験に導入することで、歩留まりの大幅な安定化、プローブカードのクリーニングやメンテナンスの最適化、そして総テストコストの削減と生産性の向上が可能になります。

ACS APCは、当社の全てのテスト・システム・プラットフォームに導入可能です。ウェーハ・プローバーのプログラム変更や特定のパラメトリック・データの使用も不要です。また、複数のクリーニングシートを異なる周期で使用する運用にも対応しています。

アドバンテストについて

アドバンテストは、計測技術をコアテクノロジーとするテスト・ソリューションカンパニーです。1954年の創業以来、エレクトロニクスの発展とともに成長し、人びとの暮らしの「安心・安全・心地よい」をサポートしてきました。主力製品となる半導体試験装置は世界最大手であり、当社の海外売上高比率は9割を超えています。アドバンテストは、「先端技術を先端で支える」という企業理念のもと、進展著しいデジタル社会のインフラストラクチャーである半導体の品質や信頼性の向上を通じて、社会の持続可能な発展に寄与しています。詳しくは当社ウェブサイト(www.advantest.com/ja/)をご参照ください。

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