MASK DR-SEM E5620
MASK-DR SEM E5600 series
E5620は、フォトマスク上の微小欠陥のレビューとクラシフィケーションを可能にする、MASK DR-SEM(∗)です。
安定性の高いイメージキャプチャ技術を実装し、マスク検査システムからインポートした欠陥位置データを自動的に画像化します。DR-SEMの先代機種であるE5610と比較して、次世代のEUV露光マスク向けに多くの改善が施されています。
∗DR-SEM = Defect Review - Scanning Electron Microscope （欠陥レビュー用走査型電子顕微鏡）
- 高い空間分解能
- 高安定・全自動画像取得
- マスク検査装置との連携
- 元素分析機能（オプション）
- 後方散乱電子分析機能（オプション）
- 詳細については、弊社営業担当にお問い合わせください。
| 搬送可能試料 | 6025サイズのフォトマスク |
|---|---|
| SEM空間分解能 | 2nm |
| EDSエネルギー分解能（オプション） | 127 eV |
- CD option、EDS option、搬送系の仕様については、別途お問い合わせ下さい。