MT Family

パワー半導体テストプラットフォーム

MTシステムは、IGBT、MOSFET、ダイオード、サイリスタなどのパワー半導体に加え、炭化ケイ素(SiC)や窒化ガリウム(GaN)といった最新のワイドバンドギャップデバイス向けのDC/AC試験装置です。

MT100
MT200

MT Family

MTシステムは、IGBT、MOSFET、ダイオード、サイリスタなどのパワー半導体に加え、SiCやGaNといった最新のワイドバンドギャップデバイス向けのDC/AC試験装置です。

DCテストで最大10kV-10kA、ACテストで最大6kV-18kAの試験条件に対応可能です。

主な特長とメリット

MTテスタシリーズは、卓越したパワーデバイス試験カバレッジとCoT(Cost of Test)メリットを提供します。

生産全工程をカバー可能なテスタシリーズ:

  • ウェーハテスト
  • ベアダイス試験(KGD)
  • サブストレート(DBC/AMB)テスト
  • ディスクリート基板または複合モジュール試験

IEC、JEDECなど国際規格に準拠したDCまたはAC(短絡試験を含む)テストをカバー

試験ニーズに応じて構成変更が可能なため、DC試験、AC試験、または両方(コンボ)を1台のテスターで実施可能

最大10kVの電圧発生と最大18kAの電流が出力可能なため、産業、車載、新エネルギー、鉄道、電力網など、あらゆる試験条件に対応

Can be swiped left or right.
Product Name Static Range Dynamic Range (SCT) Power Points Gate Points Sense Points Integrated Test Adapter (Optional)
MT100S 2800 V - 800 A   32 32 32  
MT100S-W 2800 V - 200 A   32 32 32  
MT100S-P 2800 V - 6000 A   8 24 24  
MT100S-HW 10 kV - 1000 A   2 2 4  
MT100S-HP 10 kV - 6000 A   3 4 8  
MT200S 2800 V - 3000 A   16 26 50
MT200S-HP 10 kV - 9000 A   8 24 24
MT200D   1500V - 4000A (6000A) 16 26 50
MT200D-HW   4500 V - 1000 A (2000 A) 3 4 8  
MT200DS 2800 V - 3000A 1500V - 4000 A (6000 A) 16 26 50
MT200DS-HW 10 kV - 1000 A 4500 V - 1000 A (2000 A) 3 4 8  

MT nomenclature

  • S STATIC
  • D DYNAMIC
  • H Hi-VOLTAGE
  • W Lo-CURRENT (Wafer)
  • P Hi-CURREN

ADPアダプタシリーズ

ADPアダプタは、テスト対象ユニットの移動およびコンタクトを目的として設計されています。温度制御機能と標準のMTテスタシリーズのフィクスチャドッキングシステムを搭載しています。

ADPアダプタはテスタに接続することで、エンジニアリング用途(プロトタイプ試験や新しいテストプログラムの開発)や特性評価のためのスタンドアロン試験セットアップを構築できます。

主な特長とメリット

  • コンパクトな設置面積
  • 試験環境に最適な低コストソリューション
  • 最大200°Cまで対応する温度制御システム(ATC)
  • MTテスタシリーズのキャビネットとドッキング可能
  • 量産で使用されるフィクスチャも接続可能

フィクスチャシステム

フィクスチャシステムは、テスト対象デバイス(DUT)とテスタを電気的に接続するためのアダプタです。

デバイス形状に応じた専用設計により、寄生インダクタンスを抑えたAC試験が可能です。

主な特長とメリット

  • ADP機器シリーズに装着可能
  • 自動試験ハンドラ用の標準ドッキングシステム
  • AC試験専用、DC試験専用、またはAC/DC両試験に対応したフィクスチャを製作可能
  • CREA RTH™技術とLSI™の組み合わせで、テスタから最大1.5m離れていても、寄生インダクタンスを20nH未満に低減が可能
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